尹志尧、张汝京同台——聊国产半导体发展辛酸苦辣

作者：深维
发布时间： 2026年5月20日

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5月17日，央视频放出了对“中国刻蚀机之父”、中微半导体设备公司董事长兼总经理尹志尧的采访，“中国半导体教父”、中芯国际创始人、兴华芯创始人张汝京也参与了这次对话。尹志尧在访谈中透露，中微公司的刻蚀设备已实现100pm（皮米级）加工精度，目前该公司的800多个反应台已进入中国台湾国际先进生产线，覆盖从45nm到3nm的制程节点。

此外，中微公司已成为台积电先进制程的刻蚀机装备的设备供应商。

访谈中，尹志尧称，对于现在的半导体，他们能做到5nm到3nm区间的50-60层堆叠。对于半导体行业的发展，他说道：“集成电路是成千上万人的事业，不是靠几个精英就可以搞起来的。”而关于中微公司领导层的接班人，他称自己也有了一批人选。

在泛半导体领域，该公司从0开始，两年内完成150吨重的大平板设备开发，而按尹志尧做设备的经验，此前预估做成至少需要3-5年甚至7年的时间。

尹志尧不认为中国的半导体设备离世界水平很远，中国现在至少有300多个半导体设备公司。他分享道：“中国的半导体设备工业，有很多已经达到了国际先进水平，有部分产品甚至超过了国际先进水平。”

谈及国内厂商选用国产设备一事，张汝京直言：“试新的设备一定会有风险，但最大的问题，是使用者有没有试用的决心。”

他补充道：“如果带头的领导觉得使用国产设备太麻烦，这种心态一出来的话，他自己犯错很少，但是国家整体的进步就大大的减慢。”

他还谈及国内企业常遭遇海外专利诉讼的困境，他称，企业发展越出色，越容易引来无端打压。不过，如今依托庞大的国内市场，国外对于中国企业的干扰空间大幅缩减。张汝京说道：“他来告我们专利的时候，最坏的情形，交叉授权也就解决了。”

采访中，尹志尧希望国内的客户能给国内设备制造公司更多的机会。他解释道：“国外的设备最初进入生产线时，最初两年都是一塌糊涂。”这与国内设备最初进入生产线时面临问题的情况一样。国外设备后续经由台积电、三星等企业实测打磨、优化完善后，才会正式推向中国的市场。

谈到为何回国发展，他称，他给美国产业界做了不少贡献，但毕竟是中国出生，祖上三代都从国外回来报效，所以他也要回国。

2003年他与张汝京在美国见面，张汝京高度支持他回国，直言：“只要你做出来，我一定试。”这种信任某种程度上基于他与尹志尧在泛林以及应用材料的成功合作。

以下是此次采访的实录：

01.设备精度达100pm 数码产业呈倒三角层级结构

主持人：我看到这个天花板（中微公司临港基地的天花板）都是线路板的一个形状。这是您设计的吗？

尹志尧：这是设计师设计的。

主持人：可能很多观众有疑问，“刻蚀”跟我们平时熟悉的“光刻”，这两个名词之间到底有什么区别？

尹志尧：这个我可以解释一下，我用木刻来做比方。木刻也有个“刻”字，它先得有一个硬木板，然后师傅在上面画上画，再用刻刀把不要的东西刻掉。这个三步骤就是我们做集成电路的三个步骤。

集成电路就像盖楼房，薄膜就是用各种各样办法，包括物理化学的办法、电镀的办法铺一层膜，有一百多种不同的膜，这就像做木刻需要有的木板。

接着在光刻机上面甩上光刻胶，用投影的办法曝光以后，就像木刻的师傅在木板上画出各种花纹一样。等离子刻蚀机用离子刻刀，按照花纹刻下去，刻出各种各样的形状，这就是我们做的一层。

主持人：您这个就是刻蚀机吗？

尹志尧：对，刻蚀机里面有两类。一类叫ICP，是低能等离子刻蚀机，另外一类叫CCP，是高能等离子刻蚀机。刻蚀机的特点是，两大类设备可以覆盖300到400种不同的刻蚀应用。这个是个缩小的模型。

主持人：我听说我们的设备已经能够精确到100pm了。

尹志尧：对，可以加工精度到100pm。

主持人：加工精度到100pm，和我们所说的芯片的制程，包括5nm、7nm之间有什么样的关系。

尹志尧：那已经没有阻碍了，我可以一直加工下去。我再解释一下，其实5nm、3nm、2nm是一个虚拟概念，它并不是真正gate的长度，即门电路的长度。门电路的长度如果做到14个nm以下，它的计算方法就不一样了。

原来的门是平放（平行于地面）的，挤在一块发现不行了，我们就把它们立起来放，一直摞起来做。

主持人：您这写一根头发的直径是70µm，一颗芯片元器件是5nm。这上面是有一个头发的一个（标本）。

尹志尧：这是一个虚拟的显示。你可以从放大镜看到，它目前是一个真正的芯片。我接着旋转这个旋钮，它就慢慢放大了，可以放到到100倍，芯片变这样了，再放到了1万倍，芯片又变成这样了。最后我们放大到1亿倍以上，就看到5nm。

主持人：1亿倍。

尹志尧：对，所以我们现在就是在一根头发丝的1/10000到1/100000这样的小的结构上，要盖一个五六十层的楼房。其中，这上面的十七八层就像高速立交，是一个跨过一个的结构。

主持人：现在最高能盖到多少层？

尹志尧：现在就是5nm到3nm区间，大概五六十层结构。在memory（存储芯片）上走的更远，比如说现在的flash memory（闪存芯片），它们已经大规模生产很多年，都是200多层，目前已经进入300多层，将来要做到500层到1000层的结构。

中微电子等离子刻蚀机现在有将近21个不同的类型。我们随着芯片技术的发展，升级我们的技术和产品。芯片技术发展的时候会不断地加入更多的新材料，而且会做雕钻等各种不同的复杂情况。所以我们的工作永远没有尽头，要一直往前走。

主持人：我记得在今年年初的时候，福布斯给您评了两个奖，一个是终身成就奖，一个是最佳CEO。有人说您是“中国刻蚀机之父”，“等离子刻蚀机的最强大脑”。让您给自己做一个定位的话，您更愿意怎么来描述？

尹志尧：我觉得最好就说我是一个工程师，我最喜欢的物理化学已经搞了62年了，我喜欢搞反应器。集成电路是成千上万人的事业，不是靠几个精英就可以搞起来的。这个产业链很长，包括零部件到设备，到芯片设计制造，最后到电子系统，到最终的终端应用。

所以不应该这里面来强调个人的作用，最好的名字就是工程师。

主持人：那么我们站在一个工程师的角度，想请教您，中国的大模型数量占到全球的大约40%，排在全球第一位。但是我们不愿意看到的是，我们的半导体制造的设备，比如说光刻机，或者其他的一些细分领域，我们并没有在全球领先，您觉得这个主要原因究竟是什么？

尹志尧：我倒不承认中国的半导体设备离世界水平很远，其实中国现在已经至少有300多个半导体设备公司，覆盖了100%的各种各样的设备，细分设备。我们（的设备）在国际上最强大的国家也覆盖了50%。

所以应该说，中国的半导体设备工业，特别是最近20年发展的非常的快，有很多已经达到了国际先进水平。

有部分产品甚至超过了国际先进水平，当然我们在光刻机和一些最难做的设备上还有一定差距，但我相信很快的就会改变这个状态然后赶上去。

再从另外一个角度回答你问题。传统工业是以机器代替人手，是一个以宏观加工为核心的传统工业。而数码产业是以微观加工为核心的一个微器件工业，它的特点就是越做越小，而前一个工业（传统工业）是越做越大。

最近的数据表明，在国际整个企业总产值里面，数码产业超过40%，另外的50%多就是传统工业的产物。我相信数码产业的发展速度远远超过传统工业，所以再过10年左右，数码产业会超过50%。

数码产业领域，明显的分成四个层次，它是一个倒置的三角形。

它的最上面一层叫上层建筑，也就是各种各样的应用，包括软件、网络、电商、传媒、大数据、AI、VR、元宇宙、ChatGPT、DeepSeek都算在内。

下面一层就是电子设备，小到一个电子玩具，大到全球联网的计算机、手机和电脑，都属于电子系统。

电子系统属于芯片的制造和设计领域，而芯片制造设计又基于半导体设备的能力，所以每年1000亿美金的设备销售，支撑了1万亿（美金）的芯片的设计制造，支撑了4万亿左右的电子系统，支撑了20万亿以上美金的各种各样的应用。

金字塔越往下走，我们做设备的难度就越高。比如说，国内大概有几千个设计公司都可以设计芯片，但是能做出14nm、28nm的设备公司，也就是几十个，能做到3nm、5nm的这种设备公司更是凤毛麟角。

因为这个设备产业需要50个学科兵种的综合作战才能做起来，所以需要的研发时间很长，需要几百亿、上千亿的投入才能做起来。这就是为什么我们国家还需要一定时间，让这个设备的产业能走到世界前沿去。

02.前瞻布局三维存储 打入台积电先进产线

主持人：2004年，您在60岁的时候回到中国创业。那个时候国家级集成电路重大项目也启动了，主攻我们集成电路整个产业链当中的很多的领域。有一个人一直陪伴着您成长，我们来听一听您给他留下了什么样的印象。（接下来播放VCR，讲话的人为中国科学院微电子研究所研究员、中国半导体行业协会集成电路分会理事长叶甜春。）

叶甜春：我记得他（尹志尧）04年创立（公司）的那段时间，他给我们讲完他的研究，我眼睛一亮。当时我就说，那后续我能不能让其他企业来向你们学习？他说没有问题。他没有把这些企业当做竞争对手，而是很开放的告诉他们中微的好的一些理念。

其实他本身一直具有一种前瞻性。国家还没有开始考虑做三维存储的时候，他就说他的刻蚀机将来做深孔刻蚀、深槽刻蚀时，在未来的三维存储领域里面一定是有用处的。我对他说：“那你能不能自己先开始做一些研发。”

我们自己的三维存储刚刚开始做相应的研发时，就用上了自己的装备。尹总这种行业预见性，还是很令人钦佩的。（VCR结束）

尹志尧：说老实话，有前瞻性的不是我们搞设备的人，是搞芯片器件的人，我们是跟着他们跑的。但是我们必须要及时开发出设备，在他们（做芯片器件的人）比如说进入这个5nm之前，我就得有5nm刻蚀机，一般都要提前好几年。

朱民：我也讲一个细节，我经历了中微发展的阶段的三届董事会。尹总在所有董事会上吹过的牛都实现了，这是我担任三届董事以来，最强的体会。尹总的确是很有前瞻性的视野。

尹志尧：对不起啊，我从来不吹牛哈哈，我讲的话都是留有余地的。所以我们才能完成（这些目标）。

朱民：因为当时我们看的维度，觉得好像跟企业发展（不一致）。我们会上可能投了赞成票，但底下还是是会揣测为什么尹总会做出这样的决策。的确有超前很多的布局。

主持人：最近尹总有什么样的愿景？

朱民：最近尹总给我的一个非常大的信心是，要在近期内争取把产值做到700亿人民币。这个700亿人民币的概念就是全球设备五强。

这个我们在2004年组建，包括到2018年上市，我们根本没想过，可能也没敢想。但是尹总给了我们董事会、给了我们股东最大的信心。

尹志尧：这是希望达到，光靠我们一个中微不可能解决中国所有的问题。必须有众多的半导体设备公司，这叫“八仙过海，各显其能”。我们应该是乐观其成，并希望有竞争。

在前20年，可以不客气地说，我们是走在前列技术上和产品上。但是现在这个20年，再不要以为自己是领先的，有很多后起之秀的设备公司做的比我们速度快，甚至有的设备比我们做的还好。所以我们必须要振作起来，继续的努力，这个路是永远要往前走的。

陆雄文（复旦大学管理学院党委书记、教授）：所以在这种情况下，一个企业说我要做百年老店，永远在科技领先，这其实是非常难的。但是我要跟尹总讲，也不一定要做百年。你把这未来二三十年做好，不管是技术的财富还是物质财富也留在这社会上了，你已经做了很伟大的贡献了。

我觉得尹总还有一种情怀，我觉得是非常好的。因为这不仅对这家公司（中微公司）的企业场景有帮助，对本人的长寿也有帮助。企业家需要激情，才能变得更有竞争力，变得更有战斗力。

尹志尧：院长说的非常对。请不要误解，我很少说要把中微做成百年老店。我真正讲的是十年以后做多大，现在有非常明确的目标。至于20年以后，现在很难计划，我现在只能看到十年。

主持人：（中微）继续往前走的过程中，中微已成为台积电先进制程的刻蚀机装备的设备供应商。我们知道刻蚀机换供应商其实挺难的，之前一直是泛林和应用材料（等公司）所垄断的。为什么您能从强者当中撕开一个口子闯进去？

尹志尧：也是因为我们真的是想出一些绝招，就是国际上没用过的东西。

比如说我们用的甚高频去耦合的反应离子刻蚀，这个技术是我们首先提出来的。后来，三年之后，国际上三大设备公司都是按照我们的方向做。现在100%的CCP都是用这个方法做的，所以我们是首创，而且双台机也是我们的首创。

双台机可以单台操作，左边刻一片，右边刻一片，或者同时刻蚀都可以。让我永远忘不了的是，第一次第一片硅片放在两个台里，这边放一台，那边放一台，分别刻蚀的速度就差了0.1个nm。这是2007年就达到了。

首先是中芯国际，张汝京博士带头吃螃蟹，结果我们就试成了。

后来我们就有信心进入了中国台湾市场。因为我们有双台机的这个设计，本质上在材料方面，就能节省30%甚至更多。所以我们的售价要比国际供应商要低，而且低的很多，同时（我们的设备）性能又好又稳定。这就是为什么国际一流的工业厂商愿意用我们的设备。

在中国台湾的国际最先进的生产线上，目前已经有我们的800多个反应台，从45nm到3nm，都使用我们的机器。

03.张汝京鼎力支持尹志尧回国 未来10-20年超过国际最先进水平完全可能

主持人：听说在2003年的时候，您二位（张汝京与尹志尧）在美国见了一面。当时尹总问您说我回国您支持吗？

张汝京：全力支持。当时尹总是需要客户，我们就可以做一个客户，他也需要客户的回馈，我们很愿意来认证这个设备，这是我们可以做得到的。

尹志尧：张董应该是中国集成电路的第一号领军人物。张博士当时就决定说，只要你做出来，我一定试。

当时我们还没有说这个设备要做到1、2、3、4、5什么程度、讨价还价怎么试，就说我只要做了设备，他就试。这给我很大的信心。

主持人：张博士，为什么那个时候设备都没有，甚至可能连图纸都没有，您就觉得说他能做出来“我愿意试”。

张汝京：早期尹总在泛林工作的时候，我们德州仪器就用了泛林的刻蚀机。后来尹总调到Applied（应用材料公司）去了，我们向Applied买的设备也非常的多。这两次的（合作）经验我们很有信心，你（尹志尧）第三次会做的更好。

主持人：在用全新的技术产品的时候，可能是承担一定风险的。

张汝京：试新的设备一定会有风险。但是我们试的时候，不会一下子贸然的试很多。（我们）是小批量的（试）。譬如先试5片，5片不错了再试25片，再做50片、100片这样子，而且时间要蛮长的，这个双方都要负责。

譬如说我们用中微设备的话，设备给我们的时候，我们并没有付钱，这中微要（负责的），前面的投资都是它的。但是后面测试的时候，那个芯片就是我们自己要负责，而且这个时间的成本也是我们要负责的。大家配合很好以后成功了，这个投资绝对划得来。

如果我们国内大家也抱着这种心态，我们爱用国货，如果没有人使用，怎么会进步呢？不使用就不知道毛病在哪里，不知道毛病怎么改的。也不要觉得说试过一次不好不用了，（要）给它机会。我们曾经给了一家供应商4次机会，（花了）前后差不多一年的时间，它改好了，现在大量可以用。

成本，其实在试用的时候没有什么太多的成本。最大的问题，是使用者有没有这样子的决心，（是）心态问题。如果带头的领导，他觉得他如果用国产的设备太麻烦，有风险，如果出了错他要负责任，那不要（用国产），他就买国外的已经验证过的设备。

这种心态一出来的话，他自己犯错很少，但是国家整体的进步就大大的减慢。

尹志尧：其实我觉得国内大部分的客户都愿意用国产设备。但是（他们）有一个思想上的一个障碍，就是实际的数据证明，国外的这个领先设备进来（中国）以后，一进生产线问题很少，很快就核准。可是国内的设备一进生产线开始总有很多问题，所以他们要花很多时间把这问题解决了。

所以还是有一种先入为主的概念：国外的设备比较好，国内设备有很多问题。

但是请大家注意，我在美国做了20年，那时我们每一个新设备进入最先进（的企业），像台积电、三星，开始两年都是一塌糊涂，过了两三年以后，那些领先的公司已经帮助我们把设备弄好了，也提了很多意见，我们都做好了，才把这个设备拿到中国来。

那时候已经经过两三年的历练了，所以你（国内客户）拿来的时候肯定是好的。但是国产设备最开始一下就进入国内生产线，他也同样会存在问题，并不是说国内设备真的就做的不好，是因为这个环境不一样。所以我希望国内的客户给（国内）设备公司更多的机会。

主持人：从最开始，我们从零起步，做了很多半导体的设备。叶甜春所长也讲了他眼中的国产替代和原始创新的关系。我们来听一听叶所长是怎么说的。（接着播放VCR）

叶甜春：中国集成电路发展到现在为止，以替代为主的自主可控的任务，我觉大部分已经完成了。

我们下一阶段做的，更重要的不是追赶，而要考虑开辟第二战场，开辟第二条主赛道。

原来的说追赶和替代，它是从最基础的装备材料开始。我从无到有，我要建立体系，工业体系要有，我把我的制造工艺推得更好，制造工艺起来之后，我把我的产品设计支撑的更好。

现在要倒过来，从应用端开始迁移我整个的产业体系的一个创新。而在这里面，装备企业是极其关键的。

尹志尧：他讲的很对，前20年基本上是追赶。我觉得从现在开始，我们最主要的任务是，以后的10年到20年要超过国际最先进水平，这是完全可能的事情。

其实中微现在最近一年就开发20多种设备，大概几乎绝大部分的设备的设计都是采用最新的概念，而且做出的结果都至少和它（国际）一样，或者在很多地方比它好。

我想国内其他的设备公司学了20年以后，也就都怀揣绝技了，以后做的东西都会做得好。

再讲另外一个情况，我在美国的20多年里面做了11种成功的设备，包括刻蚀、薄膜、还有湿法等等检测设备。

如果大家知道历史的话，几乎绝大部分的设备的领军人物都是中国留学生，并不是美国人，也不是外国人。

这是这个时代的原因。在80年代，我是最早到美国留学的，后来又去了很多人。而这些人都喜欢工程、物理、数学、化学、工程，都有耐心。所以他们后来都很多进入了半导体设备这个产业，都做了很大的贡献。其中做了最主要贡献的二三十人，其实现在都在国内工作。

有很多人有误解，美国政府限制美国的设备不能给中国运，但是他们不知道这些设备都是中国人做的，这些人都回国，而且现在回国的人更多，所以我有非常充分的信心。

主持人：叶所长刚才提到要开辟第二条赛道。现在的设备有多先进，您能不能带我们去生产线上看一下，看一下我们到底是一个什么样的设备。

尹志尧：这就是我们中微的大生产车间。楼上那一层是把亚系统做好，楼下这层是把它全部组装成一个完整的机器。经过组装和测试，大概平均2到3个星期，一个BAY（生产区）可以生产一台机器，一共有19个BAY。

这样一年的话可以至少生产上600台，最多可以到1000台这样的一个数量。（我们）这个生产厂房是国际上的半导体设备生产厂房中最干净的一个。因为我们有空心地板，有非常好的微粒控制，我们可以做到1000级以下。

主持人：您所谓的1000级我们应该怎么理解？

尹志尧：1000级就是在一个立方英尺里面，能找到最小的颗粒有几颗。

主持人：1000个以下叫1000级？

尹志尧：100个以下叫100级，1个以下就是1级。我们现在可以做到几百级，也就1000级以下。绝大多数的半导体设备公司，都是10000级的生产车间。它底下没有空心地板，所以它的洁净程度要比我们低1个数量级。

所以我们和国际上最先进的刻蚀机同代。这个前端柜就是一盒一盒的芯片放在这里面，里面有机械手把它一片一片抽进去，把它装到每个反应台上，经过加工。加工完了以后，一片一片送回来。一共4个台可以放100片。

主持人：像这种加工的速度是不是决定了它机器的效率？

尹志尧：对对对。像这样的一个UD-RIE，它一片硅片大概要刻一个半小时，最长可以要2个小时。

原来就两三分钟刻一层，现在刻这么（多）几十层、一百多层，它刻的时间就会很长。

因为需要时间，所以需要更多的机台。比如这个机器，在一个中国的先进客户上，有300个感应器了，每天都在刻蚀。每一个机器每年加工这个孔，刚才我说的10的18次方孔，100万万亿个孔，那如果有300台的话，你想想每年刻多少孔。

主持人：这也解释我以前的一个困惑：为什么这个芯片越速度越快、体积越小越贵，是不是溢价太高了？其实还不是，它本身的成本就是要高很多。

尹志尧：结构越来越复杂。而且这个需要40000瓦、50000瓦的高功率，所有的东西都做的很昂贵。

这个生产厂房的这个尽头，都是最新做出的薄膜设备。我们现在一共有了十几种不同的薄膜设备。

刻蚀设备等于在真空里把东西拿掉，薄膜是把东西放上去，这是两个相反的过程。那这个什么意思呢？就是我当时刻了一个深孔要60（µm）到40（µm）的深孔，然后把钨的金属扩散进去，把它填满，这是非常难的一件事情。

因为你看这么细的一个孔，你填的话上面就收口了，底下就空的了。

主持人：那我从两边填呢，可能中间就填不上了？

尹志尧：底下没有，底下不open（开放），底下是底儿，就只能从上面填。

我们有非常独特的工艺过程，是专利保护的工艺过程，可以把它填的很好。现在我们的填充效率要超过美国公司最好的设备，所以像国内的话，这个钨的填充基本上是全是我们的市场。现在都是靠我们的这个机器，薄膜机来做。我们开发这个设备，非常漂亮的设备。

主持人：您用漂亮这个词（形容）。

尹志尧：对，不是外形的问题，它做出的结果非常漂亮。（回到采访演播室）

04.历经多轮海外诉讼 白纸起步从零攻坚

主持人：如果我们倒回到二十多年前，您回国创业的那一天，按照我们常人的逻辑，可能您那个时候在美国做的非常的好。当面临一个确定性和一个不确定的时候，人的本能可能要选择这个确定性的，比如在美国继续工作下去。为什么您选择回到中国？

尹志尧：我是1980年，北京大学第二个自费出国的留学生，是比较早就去美国了，没想到一下在美国就工作生活了20年，（40年）中的后20年都在硅谷，大部分时间做设备。

我觉得我给美国的产业界也做了相当多的贡献了。当时已经有80个美国专利，差不多200个国际专利。应材（应用材料公司）、泛林和当时泛林与东京电子合资公司，都是我帮助开发的半导体设备。

但是缺的一点是，我毕竟是在中国出生的，我的祖上三代都是从国外回来报效的，所以我说我也要回国做事情，于是回来了。

朱民：我也讲一个细节。我们有一次董事会在硅谷开会议的间歇，他（尹志尧）说我带你去看看我当年的房子，就在那个小山上，我们两个人就开着车就上去。他不是一个小的房子，是个很大很大的房子。

我说尹总，你已经有这么大的产业，你还下定决心抛家撇业的回国，你图的是什么？他跟我说，就是要做事业，要情怀，我要报国。

主持人：当时您手握几百项专利，离开美国的时候可能什么都不能拿走。那就意味着您来到中国大陆之后，会走出一条全新的道路。那个时候是不是也挺困难的？

尹志尧：我们回国是非常敏感的一件事情。所以当时让所有回国的人，开始15个人，后来有200人签字画押，不许带任何的文件，而且计算机是空白，买个新计算机重新开始，这个要求非常严格。完全一张白纸来做事情。

能不能做成？说老实话自己心里还是有底气的。

因为在美国做了20年，我所发明创造的东西不是书本抄来的，是自己想出来的。既然我过去能想出东西，我现在就能想出更好的东西来，所以我们做的东西，一定不会再重复国外原来的那些技术，一定要有创新的地方。

所以我们公司在产品开发的十大原则，其中技术的创新、产品的差异化和知识产权保护，这三个是我们的最重要的原则。

主持人：但是即便是从一张白纸开始，（您）也遭到了诉讼。诉讼您的理由是什么？

尹志尧：第一个告诉是商业机密告诉。也就是从美国的大设备公司，跑到中微有30多人，其实后来远远不止30多人。

他们（美国设备公司）就认为，我们三年就可以做这么好的设备，一定是偷了原来公司的商业机密，这个是一个没有任何证据的告诉。

美国的法律是，告人不需要证据，只要告就成立，被告必须证明自己清白。

所以我们花了两年半时间，结果发现没有对方任何的图纸、工艺配方和技术机密。所以（我们）在非常有利的情况下和对方协商，就和解了。

后来的十几年和美国的三大公司（应用材料、泛林、维易科）打了4场打官司，我们赢了两场，平了两场，从来没输过。我们在知识产权上，商业机密都没有出任何问题。

张汝京：刚刚提到，在美国不一定要有证据，他就可以告你。这个告的过程当中（它们）不一定告得到，但骚扰你很辛苦。

以前有一个做GPU的公司，曾经被美国最大公司告，告了五年，最后告不倒，但是在这五年里面已经把它拖垮了。

我们现在看到的就是，当你做的特别好的时候，不喜欢你的人就会找你麻烦，是用各种手段，所以心里面要有一点准备：如果人家来告我们，我们晓得怎么样对付他。

不过今非昔比，因为我们国内的市场比海外还大，它到这边来骚扰我们的机会比以前少很多。即使无理取闹，我们还是大半壁江山、是稳坐钓鱼台，所以就不怕了。何况我们的专利也很多，他来告我们专利的时候，最坏的情形，交叉授权也就解决了。

主持人：如果各种限制因素再继续叠加，再继续变本加厉的话，我们有应对的方法和应对的策略吗？

尹志尧：笼而统之讲的话，近期对我们的发展确实会有一些影响，但是反过来促进了国内的这个芯片制造，芯片的设备和零部件材料产业的发展。

最近5年以来，国外的强权已经出台了30多条限制令，来限制美国的先进设备公司，甚至日本、荷兰的先进设备公司给我们提供设备。但是适得其反，国内的发展速度大大加快，所以我觉得长远讲，反而对我们是个好处，使我们的发展更快。

主持人：中微的产品现在已经能做到100pm以下的精度，甚至能做到0.02nm原子级（的操作）。您曾经说过这样一句话，在美国工作了40年，从来没有想到过能取得这么高的一个精密的程度。怎么取得了这么快的速度？

尹志尧：一般来讲，一个设备的新的一代需要3到5年的开发（时间），或者一些从来没开发过的设备，甚至用7年的时间才能开发出来。

那现在经过努力，我们中国已经有这种能力。一般的话，18个月到2年就可以把设备开发出来。现在一年都开发20多种设备。

第一个原因是，我们的这个工程技术团队非常努力，而且有相当（丰富）的经验。我们在设备的一些亚系统、子系统，也都有了一定的基础。所以搞一个新的设备并不是100%的开发，而是其中的百分之二三十。把反应器做修正以后，又出来了一个新设备。

举这么个例子，在2023年的11月，我们决定进入大平板设备这个领域。这个领域很重要。

大家知道，不管AI也好，先进的集成电路数码也好，视觉是很重要的，视觉是显示屏是最重要的。但大面积显示屏正是我们国家的短板。大概有17种不同的工艺设备，全部是国外买的。

而这个大生产线，像OLED 70%的生产线、全球生产线都在中国建，但100%的设备都是外国的，所以完全没有自主可控的可能性。于是我们就决定来开发这个设备。

这个设备多大呢？150吨重，15米长，15米宽，大概有两层半楼那么高。这种设备根据我40年做设备经验，至少（得花）3到5年，甚至可能7年（才能做出来）。

但我们的精锐团队非常的给力，从一张白纸到做好这个设备，只用了11个月，让它可以运转。又用了不到4个月的时间，就做到了客户对下一代的要求，做到5个百分点以下，18个月就（把该设备）运到生产线上，又经过几个月就核准。

所以基本是两年，从一张白纸（从零起步）、没做设备（毫无设备基础）就可以做（研发）出来。我们现在已经有这个能力来做最先进的设备。

主持人：为什么本身的刻蚀机做的这么好，还要研发其他的设备？

尹志尧：早的时候我就说，你要说宣称我有个刻蚀机、可以（做到）最好的刻蚀机，可是你拿到客户生产线上去，碰到100种不同的薄膜，有的能刻有的不能刻，那就出问题了。

所以一般的像应材、泛林和东京电子都是刻蚀机起家的，但是在刻蚀机做好一定要往薄膜（设备）走，因为我们要把薄膜也拿下来以后，自己沉积的薄膜自己就可以刻蚀。

这两个设备做好了以后，再有能力、再有野心的话，做什么？量检测设备。如果再有精力做什么？做司法设备。它的风险在什么地方？过去的40年，从1984年到现在有7次的大起大伏。设备的市场一年可以涨100%，一年可以掉百分之三四十，是非常可怕的一种（起伏），它不是很稳定的。

比如设想，我们现在是200亿的产值了，突然一年一掉掉到100亿了，那公司有几千人、上万人怎么办。所以一定要保持稳定的高速增长，就要把鸡蛋再放在另外的领域的篮子里面。

什么领域呢？叫泛半导体领域。有6个泛半导体领域都是集成电路设备衍生出来的。

第一个就是大平板设备，第二个是太阳能电池设备，第三个是宽晋带半导体发光二极管设备，第四个是各种特殊器件，第五个是功率器件，最后（一个）是现在最热的先进封装。

所以我们第二维呢，就做这些泛半导体的设备。把我们的核心竞争力，核心技术延伸到国计民生中一些新的应用中，而且是刚性需求、老百姓总要用的东西，这是我们的第三维探索。

05.20000余字总结领导心得 新品设计坚持亲自把关

主持人：像中微这样的科技型创新企业，面对不断变化的市场，要做出自己的反应和反馈。管理者的身上是不是应该有一些不一样的特质？

尹志尧：我写了一个两万多字的领导能力的十大要点，我觉得有三个核心。第一个是人的价值观、人生观，你为什么而活？为什么而做？如果这个东西是错的，那你做不成的。在这个基础上人必须有拼命的drive（驱动）能力，就是自强不息。

不管周围的环境好坏，他是一个火种，他走到哪儿就把哪起火来。

还有一个就是战略决策能力，是三维立体决策。第一个，走一步计划三步看七步，不能走一步看一步，就时间标度要看远。另外一个方向看广，最后一个要看深，看到深度做决定。有了这三维的决定，一般就可以做正确决定了。

我这20多年做了无穷多的决定，现在看来大概99%都是对的，就是因为有这个决策的能力。

最后一个就是让接班人更好。其实每个最伟大的公司，其通病就是一代不如一代。要做好这个，需要（做好）传承和接班两件事。传承，就是我们花了几年的时间写了600页的书。你要做中微就得按照这个基本的逻辑去做。

主持人：在您的心目当中已经有这样的人了吗？

尹志尧：有一批人。

主持人：您觉得他未来能把中微做的比现在更好吗？

尹志尧：一定比我做的好。

主持人：如果到一个更高的水平线上，九十多分了再提高每一分可能都挺难的。我们听说每提高一分的时候，您自己都亲力亲为，有的时候还加班到凌晨。

尹志尧：说老实话，公司做大了，不能每件事都自己亲力亲为。但至少在一个新产品的设计阶段，我都会非常仔细地和设计团队、工程团队讨论：现在国际上第一的设备、第二的设备它的优点缺点是什么，我们有什么招数设计出一个新产品，能够把它的优点综合上、缺点避免到。

（我们）每次都用这样的一个逻辑去分析，所以我们都会提出新的方法来设计。

主持人：我们知道中微公司还有一个特点，就是全员持股。公司的每一个岗位，保安司机都有股票。是这样吗？

尹志尧：（对于）保安，（他如果）是我们的合同工，不是（不持股）。只要是公司的正式雇员，包括门口的接待人员都有股票，司机也都有股票。

主持人：但是您个人的持股比例，在这种创业公司来讲是比较低的。

尹志尧：0.7%。

主持人：您觉得这样分散的全员的持股模式，给中国公司带来了什么？

尹志尧：实际上我觉得每个人做事，都是为了自己的精神满足和物质满足，这就是人们的积极性来源。所以我们一定要把员工的近期利益和公司奖金与奖励绑定。所以他近期努力（能）看到结果，马上就有结果。

要把员工的长远利益，也就是他的股票期权和公司的长远发展绑定。有了这样的绑定，他就能发挥最大的积极性。

我在四十多年前观察硅谷那些公司，得到一个很简单的结论。在起始阶段，它们最核心的是得有个独特的技术，也就是看家本事，必须有个什么东西比别人先进。

但是10个公司启动，大概只有3、4个公司能涨起来，其他公司就倒掉了。它们的营运能力是最主要的东西。

其实我认为，公司如何去平衡这个利益集团的矛盾和关系，使每个利益集团基本上得到70%它想要的东西，大家都可以有个平衡，这是多个运营公司的核心。

到了营运能力强的公司就做大了，真正让它们的公司成功、长远成功（的原因）是其文化作风。

我一直在观察，怎么把一群人管理到最好，让他们变成一个强群。

主持人：听说您还创作了一首歌，是吗？

尹志尧：不是我创造的，是我和作曲家安栋教授合作了6个月，创作了原来叫《中微之歌》，现在我把这个“偷梁换柱”变成科创之歌。所以大家都可以唱。

主持人：这个科创之歌跟您刚才提到这些愿景有关联吗？

尹志尧：完全一样。那里面的三句关键的话是我加进去的，一个就是“攀登勇者，志在巅峰”，第二个是“自强不息，厚德载物”，最后一个是“芯片越做越小，我们越战越强”。

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